Komponenten

Die HV-Eckventile werden vor allem als Hauptventil zwischen einer Vakuumkammer und der Hochvakuumpumpe eingesetzt. Die Ventile weisen in geöffnetem Zustand einen optimalen Leitwert auf und können um eine Drosselposition erweitert werden. Für den Einsatz an Elektronenstrahlanlagen können die Ventile für Röntgenstrahlen abgeschirmt werden. Standard-Nennweiten sind DN 400, DN 500, DN 630, DN 800 und DN 1000.

Technische Daten:

  - Gehäuse aus Edelstahl oder Baustahl, lackiert
  - Ventilteller aus Edelstahl
  - Anschlüsse für Bypass-Leitung und Messtechnik

Optionen:

  - Flansche nach Kundenwunsch
  - Größe und Lage der Flansche für Bypass und Messtechnik
  - 3-Stellungsventil
  - Röntgenstrahlungsschutz

Beispiel: HV-Eckventil DN 630

VTD's Quelle "AS-65-M" ist ein magnetisch geführter Metall-Bogenverdampfer für 65 mm Targets mit Lamellenkühlung. Sie wird bei der Metallisierung und Hartstoffbeschichtung eingesetzt. Alle gebräuchlichen, vorzugsweise hochschmelzenden Metalle (Ti, Cr; Zr, Nb etc.) können verdampft werden. Nitride, Carbide oder Carbonitride können durch zusätzlichen Reaktivgaseinlass erzeugt werden.

Eigenschaften:

  - Einstellung des Magnetfeldes ohne Belüften der Anlage
  - Reduzierte Droplet-Zahl durch geführten Bogen
  - Elektrische Bogen-Zündung ohne mechanischen Trigger
  - Wahlweise mit Quellen-Shutter
  - Angepasste Arc-Stromversorgung verfügbar

Beispiel: Arc-Quelle AS-65-M

Die Hohlkathoden-Plasmaquelle erzeugt eine stromstarke Niedervolt-Gasentladung. Der Hohlkathodeneffekt durch Pendelelektronen und thermische stimulierter Elektronenemission führen zu einer hohen Plasmadichte im Inneren des Hohlkathodenrohres und im expandierenden Plasmavolumen.

Anwendungen:

  - Ionenätzen und Aktivierung der Substratoberfläche
  - Ionen-/plasmaunterstütztes Verdampfen
  - Thermische Behandlung und Aufheizen der Substrate