Wir entwickeln und fertigen kundenspezifische PVD, PECVD, Plasma- und Vakuumprozess-Anlagen. Entsprechend der Anforderungen unserer Kunden bauen wir für verschiedene Anwendungsbereiche individuelle vakuumtechnische Anlagen.
Diese umfassen unter anderen:
- PVD-Laboranlagen mit Verdampfungs- und Sputter-Technologie
- PVD-Inline-Anlagen für diverse optische und funktionelle Beschichtungen
- Plasmabehandlungsanlagen für Polymere zur Aktivierung der Oberfläche
- Vakuum-Batch-Temperöfen zur Veränderung der Kristallstruktur und Vakuum-Durchlauföfen zur Desorption von Adsorbaten
Unsere Sonderanlagen werden sowohl für Forschung und Entwicklung unter Laborbedingungen als auch in der industriellen Massenfertigung eingesetzt.
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