Optische Vergütung

Zahlreiche Bauelemente der Feingerätetechnik, optische Geräte und Produkte mit optischer Funktionalität wie Displays, adaptive Spiegel oder Solarzellen basieren auf dünnen Schichten. Diese können sowohl dielektrische, metallische, halbleitende oder auch transparente leitfähige Oxid (TCO) Schichten sein. Optische Beschichtungen sind zumeist Stapel derartiger Schichten mit Dicken der Einzelschichten im Bereich von wenigen nm bis hin zu µm.

Als Substrate für die Beschichtung finden vor allem Glas, Kunststoffe, oder Metalle Verwendung. Diese können plan oder auch dreidimensionale Körper sein, was die Abscheidung der Schichtstapel mit eng tolerierten Schichtdicken mitunter recht aufwändig macht und Sonderanlagen erfordert.

Auf den Anlagen der VTD kommen verschiedene Vakuum basierte Technologien für die Abscheidung der Schichten zum Einsatz. Neben Verfahren zur Plasma-Reinigung oder Aktivierung (Vorbehandlung) werden folgende Beschichtungsverfahren eingesetzt:

  - Magnetron-Sputtern
  - Thermisches Verdampfen
  - Elektronenstrahlverdampfen

Die Anlagen können vom Konzept sowohl Batch-Anlagen mit Substrathalterung auf rotierender Kalotte oder Trommel bzw. mit planetarischer Rotation, als auch inline Anlagen für plane oder leicht gekrümmte Substrate sein.