Plasmabehandlung

Die Plasma-Oberflächenbehandlung ist Bestandteil nahezu aller bei VTD angewandten Technologien. Reinigungsverfahren mit Plasmen bei Niederdruck ermöglichen die mikroskopisch-gründliche, nicht aggressive und mechanisch zerstörungsfreie Entfernung von Partikeln und Absorbaten wie Oxidschichten, organischen Verunreinigungen (Öl, Wachs, Lack) und Mikroorganismen (Sterilisation) auf Oberflächen. Gleichzeitig dienen sie der Aktivierung der Oberfläche mit dem Ziel einer verbesserten Haftung der im Anschluss aufgebrachten PVD-Schicht.

Zusammengefasst dient die Plasmabehandlung der:

  - Verbesserung der PVD-Schichthaftung
  - Entfernung der "Wasserhaut"
  - Aktivierung der Substratoberfläche
  - Modifizierung der Substratoberfläche
  - Reinigung von Substratoberflächen